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回收废硅片制备期间的疑问 在回收废硅片的制作过程中，涉及到许多参数。并且这些参数中有许多会因结尾回收废硅片方针不一样而发生变化。对回收废硅片来说，有一些参数始终是很重要的，如平坦度、缺点、沾污等。鄙人面的章节中将具体评论。 当回收废硅片被不正确运转的刀片所切开时，就会构成曲折的刀口。这些刀口都不会一样，这就使回收废硅片有不一样品种的平面缺点。能以最佳的办法使回收废硅片得到平坦的外表是很重要的，因而应以尽可能平的面去切开回收废硅片。 有不一样的丈量办法来测验回收废硅片的平坦度。一些丈量办法给出了圆形的或许说是整个回收废硅片的平坦度而另一些办法只显示出部分的回收废硅片平坦度。整个的平坦度关于规划样品时是很重要的，？从另一方面说，部分的平坦度关于？规划是很重要的，？一些全体平坦度测验的术语是曲折度（bow）、翘曲度（warp）、总厚度超差（TTV）、总指示读数（TIR）和焦平面违背（FPD）。部分平坦度测验的术语也与其共同。 回收废硅片曲折度是丈量回收废硅片曲折程度，它是与回收废硅片中间从一经过接近回收废硅片边际的三个基点树立的平面的违背程度。曲折度测验是一种较老的测验手法，不常常运用。由于曲折度测验只能测验与中间的违背，其他办法也就相应发生了。实际上，回收废硅片的违背会发生在回收废硅片的任一方位，并且能发生许多疑问。在近来的时间里，S型曲折或翘曲的测验被真实选用。这种变形有比曲折更杂乱的形状。 回收废硅片形状变形的另一测验办法是翘曲度的测验。翘曲度是丈量回收废硅片断定的几个参阅面的中间线方位的最高点与最低点之最大差值。回收废硅片的翘曲度起决于运用的一对无触摸扫描探针。回收废硅片被放置在三个构成参阅平面的支点上，这对探针中一支能够在回收废硅片一侧的恣意方位，而另一支则在另一侧的相应方位。探针按设定的程序，沿回收废硅片外表移动，丈量到回收废硅片外表指定点的间隔。一旦一切的间隔都已测得，翘曲的程度也就知道了。测定翘曲度，第一步即是找到顶部探针与顶部回收废硅片外表的间隔（a）和相应底部探针与底部回收废硅片外表的间隔（b）。换句话说，就得到了b-a的一切丈量点。有了这些数据，将b-a的最大值减去b-a的最小值，再除以2即是Warp值。http://zhangpu.zz91.com/

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废硅片回收切割技术

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